G-43D6型高精密單面光刻機(jī)

設(shè)備概述:

本設(shè)備是我公司根據(jù)市場需求研發(fā)的產(chǎn)品，可以光刻Φ6"以下基片，對被光刻基片的外形、厚度要求較低，可對多種材料的基片進(jìn)行光刻。它特別適用進(jìn)行一次光刻的產(chǎn)品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等。按用戶要求可提供圓形承片臺或方形承片臺,不管哪一種承片臺，都能實(shí)現(xiàn)“真空密著”曝光,加之光均勻性好，所以大大提高光刻質(zhì)量。

曝光頭及部件圖

主要構(gòu)成主要由防震工作臺、高均勻性6"LED專用曝光頭、氣動系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵及附件箱等組成。

主要功能特點(diǎn)

1.適用范圍廣
      適用于Φ6"以下，厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的一次曝光。
      2.結(jié)構(gòu)**
     本設(shè)備配置有可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu)；具有真空掩膜版架、真空片吸盤。
      3.操作簡便
     本設(shè)備操作簡單，調(diào)試、維護(hù)、修理等都非常簡便。
     4.設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定、可靠
     采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時器；采用獨(dú)特的氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件，使本機(jī)具有非常高的可靠性。
     5.特設(shè)功能
     除標(biāo)準(zhǔn)承片臺外，還可以為用戶定制專用承片臺，來解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題

主要技術(shù)參數(shù)：

1、操作方式：手動。

2、曝光模式：接觸式曝光。

3、曝光面積：Φ6"，配置6"LED專用曝光頭，紫外光源壽命≥2萬小時

4、紫外光源：365nm。

5、實(shí)現(xiàn)“真空密著”曝光，但基片厚度≤2mm。

6、分辨率：2um

7、光的不均勻性：≤±3.5%；

8.樣品尺寸：Φ150mm。

9、曝光強(qiáng)度：0～30mw/cm2可調(diào)（此指標(biāo)用紫外光源I線365nm測量）