天堂8在线天堂资源BT,亚洲美免无码中文字幕在线,亚洲依依成人社区在线观看,国产精品又大又粗又猛视频

歡迎訪問成都鑫南光機械設(shè)備有限公司官方網(wǎng)站!

成都鑫南光機械設(shè)備有限公司

二十年專業(yè)品質(zhì) 通過ISO9001質(zhì)量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709
產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置 當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 光刻機

G-26D12型高精密單面光刻機

一、主要用途:本設(shè)備是乙方專門針對各大專院校及科研單位對光刻機的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機,它主要用于中小規(guī)模集成電路、…

相關(guān)內(nèi)容
在線留言
詳情內(nèi)容
content details


一、主要用途:

本設(shè)備是乙方專門針對各大專院校及科研單位對光刻機的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機,它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。


二、 主要性能指標

1、曝光類型:單面;

2、曝光面積(有效面積):φ310mm;

3、曝光照度均勻性:≥ 96%;

4、曝光強度:0~30mw/cm2可調(diào);

5、紫外光束角:≤3?;

6、紫外光中心波長:365nm;

7、紫外光源壽命:2年;

8、曝光分辨率:2μm;

9、曝光模式:可選擇一次曝光或套刻曝光;

10、顯微鏡移動范圍:X:±50mm   Y:±100mm;

11、對準范圍:X、Y±3mm;Q±3°;

12、套刻精度:2μm;

13、分離量;0~50μm可調(diào);

14、接觸-分離漂移:≤2μm;

15、曝光方式:密著曝光,可實現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;

16、找平方式:三點式自動找平; 8英寸wafer;

17、顯微系統(tǒng):雙視場CCD系統(tǒng),顯微鏡91X~570X連續(xù)變倍(物鏡1.6X~10X連續(xù)變倍),雙物鏡距離可調(diào)范圍50mm~120mm,計算機圖像處理系統(tǒng),19″液晶監(jiān)視器;計算機圖像處理系統(tǒng),19″以上液晶監(jiān)視器;CCD用HMDI端口;

18、掩膜板尺寸: 355.6mm×355.6mm(12英寸wafer對應(yīng)版);228.6mm×228.6mm(8英寸wafer對應(yīng)版);

19、基片尺寸:φ304.8mm;

20、基片厚度:12英寸厚度775±20um;8英寸厚度725±20um;

21、曝光定時:0~999.9秒可調(diào);

22、對準精度:±1μm;

23、曝光頭移動:電動;

24、電源:單相AC220V  50HZ ,功耗≤3KW;

25、潔凈空氣壓力:≥0.4MPa;

26、真空度:-0.07MPa~-0.09MPa;

27、G-26D12型光刻機的組成:

由主機(含機體和工作臺),對準用單筒顯微鏡,高均勻性曝光頭組成。

28、附件如下:

a.主機附件:

1)掩膜版板架,按上面第18提供。

2)真空夾持承片臺,按以上提供。

b.顯微鏡組成

1)高分辨率單筒顯微鏡二個。

2)二個CCD。

3)視頻連接線。

4)計算機和19"液晶監(jiān)視器。


在線留言

LEAVE A MESSAGE

鑫南光咨詢服務(wù)熱線:
13908187709

立即在線咨詢預(yù)約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業(yè)港雙流園區(qū)渤海路36號(3座)
版權(quán)所有:

成都鑫南光機械設(shè)備有限公司

備案號:蜀ICP備12015633號-3

網(wǎng)站地圖 RSS XML  
聯(lián)系人:劉經(jīng)理 電話:028-85730589     技術(shù)支持:  萬家燈火  
  全國服務(wù)熱線:15390063681  郵箱:x.n.g@163.com