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型號 :ZCL-700 一、真空室:1. 形式:雙腔室結(jié)構(gòu),中間配置閘板閥。A、濺射室:700(寬)x700(深)x600mm(高),后開門。配置3個 CF35法蘭,軸心指向工作臺,用于觀測,觀測路徑上不得有阻擋;另設(shè)置φ100mm觀測窗一...
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