鑫南光小編為大家介紹四川精密光刻機(jī)產(chǎn)品介紹：

一、主要用途：

本設(shè)備可對(duì)晶片、陶瓷片、玻璃片（圓片或方片）進(jìn)行一次性曝光，特別適用于對(duì)聲表面波器件、光柵、分劃板、可控硅等的曝光，二極管、三極管、分立元件的**次光刻。

二、主要技術(shù)參數(shù) ：

1.適用于對(duì)Φ4″以下只需一次曝光的各種基片進(jìn)行曝光，基片厚度要求0～5mm。

2.光源采用200W直流汞燈，曝光頭光束不均勻性≤±6%（Φ100mm范圍以內(nèi)）。

3.采用時(shí)間繼電器（可調(diào)節(jié)）控制曝光頭的快門。

4.具有兩個(gè)真空密著承片臺(tái)（一個(gè)在曝光時(shí)，另一個(gè)可進(jìn)行上下片的操作），根據(jù)用戶需求，我公司可制作圓形或方形真空密著承片臺(tái)。

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